(1)儀表使用時(shí),使用環(huán)境應(yīng)滿足說(shuō)明書中規(guī)定的環(huán)境條件和使用攏術(shù)規(guī)定,流ZUI大值應(yīng)在所選儀表程的規(guī)定范圍內(nèi)。

(2)為了保證 MFM/MFC可緣工作和維護(hù)使用方便,儀表使用時(shí)應(yīng)配套安裝適當(dāng)截止、過(guò)濾器,干燥器、單向、減壓器和背壓等。

(3)由于該儀表容易發(fā)生堵塞現(xiàn)象,所以使用中要經(jīng)常啟用“清洗”過(guò)程和定期清洗配套過(guò)濾器。

(4)使用中進(jìn)行“清洗”操作時(shí),“清洗”結(jié)東,不要直接轉(zhuǎn)入“閥控”位,應(yīng)先置于“關(guān)閉位覺(jué),然后,再轉(zhuǎn)至“控”位。

(5)對(duì)于反應(yīng)系統(tǒng),建議在 MFM/MFC入口處加裝過(guò)濾器,出口端加裝單向?qū)?以防止異常情況發(fā)生時(shí),液體反應(yīng)物倒流至儀表內(nèi)使其損壞。

(6)對(duì)于常壓系統(tǒng),一般選擇減壓器和過(guò)濾器與其配套,以便保證儀表可運(yùn)行和控精度。

(7)對(duì)于高壓系統(tǒng),應(yīng)在 MFM//MFC的上游加裝減壓閥、過(guò)濾器,下游加裝背壓閿(或其他節(jié)流裝)及壓力表,以便保證 MFM/MFC應(yīng)有的工作壓差。

(8)對(duì)于硅烷這樣的遇空氣易形成結(jié)晶的氣體,應(yīng)特別注意系統(tǒng)的密閉性(檢漏時(shí),不要忽視減壓器),必要時(shí)設(shè)計(jì)上吹洗旁路,以便進(jìn)行氮?dú)獯迪椿蛘龎罕４?

(9)對(duì)有高頻源的系統(tǒng),應(yīng)注意屏慧,并做好接地,一般選擇單點(diǎn)接地為宜。

(10)對(duì)于高真空系統(tǒng),應(yīng)盡量減少氣略接頭,對(duì)須有的接頭,要嚴(yán)格密封或采用VCR等接頭

(11)對(duì)于 MFM/MFC的安裝位置,應(yīng)盡景選擇水平位置、并且安裝面要水平、安裝位置要易于裝卸、檢、調(diào)零。安裝時(shí)要盡量避免受到撞擊,安裝固定要安全可靠。

(12)使用中,如果工藝系統(tǒng)復(fù)雜或使用特殊氣體,儀表的測(cè)控系統(tǒng)啟用應(yīng)建立專用的操作規(guī)程。

(13)使用中若發(fā)現(xiàn)儀表零點(diǎn)偏移時(shí)、可通過(guò)外罩上的調(diào)零孔調(diào)整,也可揭開(kāi)外罩調(diào)整,但量程調(diào)整電位器不得輕易調(diào)整。

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